濕電子化學(xué)品（Wet Chemicals）從分類上屬于精細(xì)化工的細(xì)分行業(yè)，是電子濕法工藝中使用的各種電子化工材料，主要應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域（晶圓、顯示面板、太陽(yáng)能電池），制造加工過(guò)程中的清洗、刻蝕等濕法工藝制程。

        而在晶圓、顯示面板、太陽(yáng)能電池片制造環(huán)節(jié)，由于硅片表面的潔凈度對(duì)性能、良率、顯示高清度至關(guān)重要，因此制造工藝都會(huì)有清洗環(huán)節(jié)。濕化學(xué)品的作用就是在清洗過(guò)程中，利用化學(xué)制劑的腐蝕性、可溶性等特性，達(dá)到清除晶圓等表面殘留的有機(jī)污染物，降低金屬雜質(zhì)殘留量的目的。

        故而濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小，越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”，為了給濕電子化學(xué)品按照純凈度進(jìn)行劃分，我們會(huì)使用到SEMI標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)標(biāo)對(duì)濕電子化學(xué)品進(jìn)行分級(jí)。

        SEMI標(biāo)準(zhǔn)是由國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(Semiconductor Equipment and Materials International)制定，其將濕電子化學(xué)品分為G1-G5五個(gè)等級(jí)。G1等級(jí)濕電子化學(xué)品適用制程為＞1.2μm、金屬雜質(zhì)≤1000μg/L、顆粒度≤1.0μm；而G5等級(jí)濕電子化學(xué)品適用制程＜0.09μm、金屬雜質(zhì)≤0.01μg/L、顆粒度更小。

        目前太陽(yáng)能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級(jí)，代表性的公司如億緯鋰能、寧德時(shí)代、欣旺達(dá)和德賽電池；顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2、G3等級(jí)，代表性的公司如TCL、京東方、三星和LG；集成電路領(lǐng)域，8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3、G4水平，12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級(jí)，代表性的公司如華虹半導(dǎo)體、中芯國(guó)際、臺(tái)積電、華潤(rùn)微。

        國(guó)際上制備G1到G5級(jí)濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟，國(guó)內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國(guó)際G3標(biāo)準(zhǔn)，并已開(kāi)展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。一些技術(shù)領(lǐng)先的濕電子化學(xué)品企業(yè)，如江化微公司，目前技術(shù)水平已達(dá)到SEMI標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)的高端行列，硝酸純度、氫氟酸、氨水、金屬刻蝕液等均已完成行業(yè)頂級(jí)（G4級(jí)和G5級(jí)）品類中試，量產(chǎn)在即。

        濕電子化學(xué)品儲(chǔ)罐、運(yùn)輸罐和包裝容器等設(shè)備的材質(zhì)首先必須耐腐蝕，其次不能有顆粒的溶出，再有就是不能出現(xiàn)金屬雜質(zhì)的溶出現(xiàn)象，這樣才能確保容器在使用點(diǎn)上不構(gòu)成對(duì)工藝化學(xué)品質(zhì)量的沾污。

        早期低級(jí)別的濕電子化學(xué)品一般采用的是以玻璃為材質(zhì)的包裝容器，但由于玻璃瓶易碎，另外隨著時(shí)間的延長(zhǎng)還會(huì)造成Na、Ca等金屬雜質(zhì)的溶出而帶來(lái)二次污染，因此玻璃瓶已經(jīng)逐步被淘汰。目前廣為使用的材料是四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)和聚四氟乙烯(PTFE)等。

        上海富晨提供的PFA和PTFE材料內(nèi)襯對(duì)多數(shù)濕電子化學(xué)品的穩(wěn)定性較好，而且易于加工，并且具有適當(dāng)?shù)膹?qiáng)度，因而它是濕電子化學(xué)品包裝容器的理想材料，尤其適用于周期較長(zhǎng)的管線、貯罐、周轉(zhuǎn)罐等。